René Peyrous, ingénieur de recherche, travaillant sur un plasma froid radio-fréquence.
1995
Crédits : UPPA

René Peyrous, ingénieur de recherche, travaillant sur un plasma froid radio-fréquence

(Image)


Couverture de date : 1995

Description :

Cette photographie, prise au Laboratoire d'électronique des gaz et des plasmas (LEGP) en 1995 dans le bâtiment IPRA, montre René Peyrous, ingénieur de recherche, en train de travailler sur un dispositif permettant de créer un plasma froid radio-fréquence (RF).
Il régler la boîte d'accord d'impédance (circuit RLC) qui se trouve dans la cage de Faraday en cuivre (qui est ouverte sur deux côtés lors de la photo). Le réacteur est le cylindre vertical en inox situé dessous (c'est une enceinte sous vide Méca2000 avec un dispositif de décharge électrique, probablement plan/plan) équipée d'un porte-échantillons (tube horizontal vers la gauche) permettant d'amener un échantillon (wafer silicium ou autre surface métallique à traiter) dans la décharge entre les 2 électrodes.

Source :
Jean-Francis Loiseau


Lieu en relation :
Bâtiment IPRA 1 (contient une vue de)
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